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가변각도 레이저 엘립소미터

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가변각도 레이저 엘립소미터
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상품명 가변각도 레이저 엘립소미터
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특징

 • 엘립소미터 실험을 통해 물질의 편광 특성 변화를 관측하고 물질에 관한 정보를 확인할 수 있다.

 • 엘립소미터는 빛의 편광과 위상정보를 이용하여 박막의 두께를 옹스트롬 수준 까지 측정할 수 있다. 

 • 비파괴 실험, 높은 정밀도, 넓은 측정범위 등의 장점을 가지고 있다. 박막의 두께, 굴절률을 정밀하게 측정할 수 있다.
• 관찰대상 시료에 타원편관 된 빛을 쪼여서 반사된 선편광된 빛을 검사한다.
• 버니버가 장착되어 0.1도 정밀도로 측각이 가능한 측각기에 달린 2개의 회전팔에 광원과 광검출기가 설치되어 있다.
 • 광원과 광검출기의 편광기로는 글랜톰슨(Glan-Thompson) 프리즘이 사용된다.
 • 박막시편은 1cm 가동범위와 0.01mm 정밀도의 마이크로 미터로 조절되는 상하이동 스테이지에 놓인다.
 • 레이저빔의 조사각 범위는 30도~ 90도이다.
• 타원편광시킨 레이저광을 시료에 조사하고 반사광의 편광방향에 직각으로 분석 편광기를 놓아 완전 소광될 때의 각도를 측정하는 소광 측정법(null method)을 시행하기 위해 검출기 대신 소형 스크린을 장착할 수도 있다.




사양

박막 두께 측정범위 : 1 nm ~ 300 nm 

조사 각 : 30° ~ 90°, 오차 ≤ 0.1°

회전범위
입사광 편광기, 분석 편광기 : 0° ~ 360°
1/4 파장판 : 0° ~ 360°
해상도 : 0.1 도

광 검출기
종류 : Si 광다이오드
검출면적: 5.8x5.8mm

시편 스테이지
상하 가동범위 : 10mm
정밀도 : 10 microns
기울임 범위 : +/- 2도

소프트웨어 : Δ – ψ 그래프를 그릴 수 있는 소프트웨가 제공된다. 그래프를 통해서 광학계수를 계산할 수 있다.


 Measurement Range : 1 nm ~ 300 nm
 Incident Angle : 30° ~ 90°, Error ≤ 0.1°

  Rotation Range
  Polarizer : 0° ~ 360°
  Quarter-Wave : 0° ~ 360°
  Resolution : 0.1 degree
  Laser : DPSS (532nm, 5mW)

  Laser Arm
  Rotation Range : 70 degree (from horizontal plane)
  Main Scale Division : 1 degree
  Resolution : 0.1 degree

  Detector
  Type : Si Photodiode
  Active area : 5.8 x 5.8 mm

  Detector Arm
  Rotation Range : 70 degree (from horizontal plane)
  Main Scale Division : 1 degree
  Resolution : 0.1 degree

  Sample Holder
  Height Adjustment Range : 10 mm
  Drive Resolution : 10 microns
  Tilting Range : +/- 2 degree  





실험 이론


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